平面测量
平面测量装置用于测量反射平面镜、透镜和窗片。被测物体必须放在专用夹具上以便于对被测面进行倾斜调整，比如用ZYGO的两维调整架和自中心夹具放置和调整样品。

透射波阵面测量
此装置用于测量透射平面波前畸变。 常用于对窗片、滤光片和透镜等的测量。另外，也可用于检测玻璃、透明材料的均匀性。测量光束通过被测样品，只需要将样品放在与光轴近似垂直的位置，不需要特殊的调整。

球面测量–凸面
此装置用于凸面样品的面形测量。选择合适的球面标准镜必须满足如下条件：首先，被测凸球面的曲率半径必需小于球面标准镜的后焦距，其次，被测样品的曲率半径与通光孔径的比值（R/number）必须小于等于球面标准镜的F/number。三维调整架用来调节被测样品。

球面测量–凹面
球面标准镜用于将干涉仪输出平面波变为球面波，用于对球面样品和透镜的测量。测量时，被测样品凹面的曲面中心必须与球面标准镜的焦点精确重合，使用GPI™的快速获得条纹系统可以只用几秒的时间调整好样品的位置。三维样品调整架用于调节被测样品。

透镜/光学系统质量测量
通过检测透射波前畸变可以检测透镜和光学系统质量，对于聚焦于无限远的透镜系统，测量时与干涉仪位置如图所示，需用一个高精度的凸球面或者凹球面将光束反射回干涉仪，通过转动被测透镜光轴，波束角的变化可以被检测。

透镜/光学系统质量测量–另一种方法
对于无限共轭的透镜或者光学系统，尤其对于大于干涉仪测量光束直径的透镜系统，可以用这种方法检测，如图所示。此方法对于样品的调整要求更高，可能会由于未准确校准而引入误差。

ZYGO典型干涉仪配置向导
16页的配置向导用简洁的图示和说明介绍了几种ZYGO干涉仪的常用的配置，填写简单的申请表格就可以马上下载免费的PDF格式的配置向导。