三次元测量仪依操作方式分类有手动、马达驱动和CNC等三种型式。

1.手动式三坐标测量仪操作者用手握住主轴使其沿着X、Y、Z轴移动。测量时，需注意探头与工件间测量压力、及探头移动因加速度所造成轴产生弯曲导致测量误差，如图1所示。

2.马达驱动式三坐标测量仪马达驱动式三坐标测量仪一般可由游戏杆控制。它具有高测量精度、容易操作、且提供教导式测量等优点。

3.CNC式三坐标测量仪CNC式三坐标测量仪除了具有马达驱动式的功能之外，还可自动依照计算机所预先设定的程序执行测量，甚至有些厂商出品的三坐标测量仪，也提供了自动装拆工件。

CNC式三坐标测量仪除提供尺寸测量(点到点的测量 )外，也可作曲面的轮廓测量(点到点的测量及扫瞄测量)。

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