为了更好的拓展和增强干涉仪的功能，ZYGO为用户提供大量的干涉仪附件。包括：透射平面标准镜，参考平面标准镜，透射球面标准镜，参考球面标准镜，调整架，样品固定夹具，曲率半径测量附件等。众多附件可以满足客户多种测量需要。

还有，固定安装附件，防震系统，立式干涉仪套件，用于同时存在多种测量装置的光路转换器等。