Verifire™ MST - 利用波长调试激光和专利数据采集技术能够同时测量透射元件的前后表面,厚度变化（包含楔角），简单两步即可测试材料均匀性，且无需对样品进行特殊处理（比如涂油）。

Verifire™ XL - 系统专门设计的工作站结构，主要用于快速计量很大300mm大口径平面面形，无需拼接。特殊设计，操作便捷，配有大载重俯仰二维调节台，提供样件快速复位，无需特殊定制固定夹具。

arge Aperture Interferometer Systems - ZYGO大口径激光干涉仪系统是双通道测量系统，大口径包含 12", 18", 24" 和 32"口径 (300 mm 到 800 mm)。ZYGO的大口径扩束器是标准模块化设计，适配于不同主机不同的采集模式。基于4英寸主机所配的高功率激光器，不仅满足4英寸通道也足够扩束部分光强需要。

紫外和红外干涉仪 - 不仅有可见光的激光干涉仪，ZYGO还有拓展波长干涉仪，如短波紫外和长波红外，波长范围从266nm到10.6um。